Proyek

Dalam manufaktur semikonduktor, bahkan ion logam, pengotor partikel, atau kontaminan organik dalam jumlah yang sangat kecil pun dapat menimbulkan konsekuensi yang fatal. Pengotor ini dapat mengubah jalur transpor elektron di dalam chip, meningkatkan resistansi, dan menyebabkan panas berlebih serta penurunan kinerja. Pengotor juga dapat menyebabkan korsleting dan masalah lainnya, sehingga chip tidak dapat dioperasikan. Menurut penelitian yang relevan, kehilangan hasil akibat masalah kemurnian reagen kimia dalam proses manufaktur chip dapat mencapai 20% - 30%, yang tidak diragukan lagi merupakan tantangan signifikan bagi industri semikonduktor, yang mengejar presisi tinggi dan output tinggi.

Peran kunci pompa penggerak magnet di dalamnya

Dalam keseluruhan proses manufaktur semikonduktor, pompa penggerak magnet memastikan kontinuitas transportasi reagen kimia. Pengoperasiannya yang berkelanjutan dan stabil memastikan pasokan reagen kimia yang dibutuhkan untuk berbagai proses secara tepat waktu, sehingga menghindari waktu henti produksi akibat gangguan pasokan reagen. Sebagai contoh, proses deposisi film membutuhkan pasokan gas dan reagen kimia cair tertentu secara terus-menerus ke ruang reaksi. Pengoperasian pompa kimia yang stabil memastikan kontinuitas proses deposisi, memungkinkan pertumbuhan film yang seragam dan memastikan sifat kelistrikan serta keandalan chip.

Sebagai jenis pompa kimia yang sangat digemari dalam industri semikonduktor, keunggulan terbesar pompa penggerak magnet terletak pada desainnya yang unik tanpa segel mekanis. Pompa ini menggunakan kopling magnet untuk mencapai transmisi daya, dan poros pompa serta poros motor berinteraksi satu sama lain melalui gaya magnet, tanpa memerlukan perangkat penyegel mekanis tradisional. Desain yang sepenuhnya tersegel ini bagaikan "lapisan pelindung" yang kuat untuk reagen kimia, yang pada dasarnya menghilangkan kemungkinan kebocoran medium. Dalam proses manufaktur semikonduktor, kebocoran yang sangat kecil sekalipun dapat menyebabkan masalah polusi yang serius, dan kemunculan pompa magnet dengan sempurna mengatasi bahaya tersembunyi ini. Dalam proses pengangkutan fotoresist, pompa magnet dapat memastikan fotoresist mengalir secara stabil dalam pipa tertutup tanpa kebocoran, sehingga menjamin kemurnian fotoresist yang tinggi. Dalam pengangkutan asam fluorida bermutu elektronik dengan kemurnian tinggi, karakteristik pompa magnetik yang tertutup rapat secara efektif menghindari kontak antara asam fluorida dengan udara luar, mencegah penguapan asam fluorida dan bahaya terhadap lingkungan dan personel yang mungkin disebabkan oleh kebocoran, dan pada saat yang sama memastikan bahwa kemurnian asam fluorida tidak terpengaruh, memberikan jaminan yang dapat diandalkan untuk proses penggoresan berikutnya.